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淮安净化工程装修如何控制温湿度?

发布时间:2022-12-14 10:24:54 点击次数:

淮安净化工程装修如何控制温湿度?

在大规模集成电路生产的光刻曝光过程中,玻璃和硅片作为掩膜板材料的热膨胀系数要求越来越小。直径100um硅片,温度上升1度,导致0um因此,必须有线性膨胀±0.恒温1度,湿度值一般较低,因为出汗后会污染产品,尤其是怕钠的半导体车间,不应超过25度。

湿度过高会导致更多的问题。当相对湿度超过55%时,冷却水管壁会结露。如果发生在精密装置或电路中,会造成各种事故。当相对湿度为50%时,很容易生锈。

然而,对于大多数净化工程,为了防止外部污染入侵,内部压力(静压)高于外部压力(静压)。净化工程的压差维护一般应符合以下原则:

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1.清洁度高的空间压力高于相邻清洁度低的空间压力。

2.相通洁净室之间的门应开向洁净度高的房间。

3.淮安净化工程装修中,清洁空间的压力高于非清洁空间的压力。压差的维持取决于新鲜空气量。这种新鲜空气量应能够补偿在这种压差下从间隙泄漏的空气量。因此,压差的物理意义是通过洁净室各种间隙泄漏(或渗透)空气量的阻力。

对于乱流洁净室,由于主要依靠空气稀释来减少室内污染的程度,主要采用通风次数的概念,而不是直接采用速度的概念,但净化工程对于房间

淮安净化工程装修内流速度也有以下要求:

1.出风口的气流速度不宜过大。与简单的空调房间相比,速度衰减更快,扩散角度更大。

2.吹过水平面的气流速度(如侧送时的回流速度)不宜过大,以免吹起表面颗粒回流,造成净化工程再污染。这个速度一般不应该大干0m/s



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