淮安净化工程装修洁净厂房内的温湿度怎么控制
淮安净化工程装修洁净厂房内的温湿度主要根据工艺要求确定,但在满足工艺要求的情况下,应考虑人的舒适性。随着空气清洁度要求的提高,工艺对温湿度的要求越来越严格。
未来将列出清洁厂房施工的具体工艺对温度的要求,但作为一般原则,由于加工精度越来越精细,对温度波动范围的要求越来越小。例如,在大规模集成电路生产的光刻曝光过程中,玻璃和硅片的热膨胀系数要求越来越小。直径100um硅片,温度上升1度,导致0.24um因此,必须有线性膨胀±0.恒温1度,湿度值一般较低,因为出汗后会污染产品,尤其是怕钠的半导体车间,不应超过25度。
淮安净化工程装修洁净厂房湿度过高产生的问题更多。当相对湿度超过55%时,冷却水管壁会结露,如果发生在精密装置或电路上,就会造成各种事故。50%的相对湿度容易生锈。另外,湿度过高时,硅片表面粘附的灰尘会通过空气中的水分子化学吸附在表面,难以去除。相对湿度越高,附着力越难去除。但当相对湿度低于30%时,由于静电的作用,颗粒容易被表面吸附,大量半导体器件容易被击穿。对于硅片生产温度范围为35—45%